網(wǎng)站標(biāo)題
HMDS真空烤箱的工作性能及優(yōu)點(diǎn)
起初，人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問(wèn)題，但隨著光刻線條的越來(lái)越細(xì)，膠的越來(lái)越薄，對(duì)粘附力提出了更高的要求，于是HMDS真空烤箱被研制出現(xiàn)。
2019-07-18 09:08:47安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司1084
HMDS真空烤箱的工作性能及優(yōu)點(diǎn)
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝尤為重要。
起初，人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問(wèn)題，但隨著光刻線條的越來(lái)越細(xì)，膠的越來(lái)越薄，對(duì)粘附力提出了更高的要求，于是HMDS真空烤箱被研制出現(xiàn)。
1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2.箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
3.微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫準(zhǔn)確，可靠。
4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。
5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
6.HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易。
7.低液報(bào)警裝置，采用紅外液體感測(cè)器，能及時(shí)靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過(guò)低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能）
8.溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒(méi)有啟動(dòng)程序時(shí)，加溫功能啟動(dòng)不了，相反加溫功能啟動(dòng)時(shí)，PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能，發(fā)出警報(bào)）
9.整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料，整體使用無(wú)縫焊接（避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害）
旭騰科技HMDS真空烤箱的優(yōu)點(diǎn)：
1.預(yù)處理性能好，由于是在經(jīng)過(guò)數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理，所以沒(méi)有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)降低，所以有著較好的處理效果。
2.處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以比液態(tài)涂布更均勻。
3.效率高。液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片。
4.更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多；
*文章僅為個(gè)人觀點(diǎn)，不作為技術(shù)參考。具體細(xì)節(jié)請(qǐng)咨詢技術(shù)人員。
旭騰科技作為專業(yè)的HMDS涂布烘烤設(shè)備制造廠商，可根據(jù)客戶特殊需求定制您需要的滿意產(chǎn)品，有需求的客戶詳情請(qǐng)咨詢400-608-2908或搜索旭騰科技了解更多，我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)。
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~
皖I(lǐng)CP備2025078321號(hào)-1
選擇區(qū)號(hào)