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HMDS涂膠機的技術(shù)指標和優(yōu)點
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝尤為重要。
2019-04-19 10:02:56安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司2108
HMDS涂膠機的技術(shù)指標和優(yōu)點
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝尤為重要。
起初，人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題，但隨著光刻線條的越來越細，膠的越來越薄，對粘附力提出了更高的要求，于是HMDS涂膠機被研制出來。
1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
3.微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫準確，可靠。
4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。
5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無發(fā)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境。
6.HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。
7.低液報警裝置，采用紅外液體感測器，能及時靈敏給出指令（當HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能）
8.溫度與PLC聯(lián)動保護功能（當PLC沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發(fā)出警報）
9.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料，整體使用無縫焊接（避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）
1.預(yù)處理性能好，由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機會降低，所以有著較好的處理效果。
2.處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬的均勻性。
3.效率高。液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達4盒的晶片。
4.更加節(jié)省藥液。實踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多；
5.更加環(huán)保和安全，HMDS是有毒化學藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、刺激胸部、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機，所以也不會對環(huán)境造成污染。
*文章僅為個人觀點，不作為技術(shù)參考。具體細節(jié)請咨詢技術(shù)人員。
旭騰科技作為專業(yè)的HMDS涂布設(shè)備制造廠商，可根據(jù)客戶特殊需求定制您需要的滿意產(chǎn)品，有需求的客戶詳情請咨詢400-608-2908或搜索旭騰科技了解更多，我們將竭誠為您服務(wù)。
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